一、用途
WMZ-9190明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜，图像清晰、衬度好，同时配有偏光装置，及其高像素的数码摄像头. 本仪器配有暗场物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等，造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象，使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产过程中常用的检测仪器之一.
技术标准
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标准配置 |
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目镜 |
大视野 WF10X(视场数Φ22mm) |
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无限远长工作距离平场消色差物镜 |
PL L5X/0.12 工作距离：26.1 mm |
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PL L10X/0.25 工作距离：20.2 mm |
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PL L40X/0.60 工作距离：3.98 mm |
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PL L60X/0.70 工作距离：3.18 mm |
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PL L100X/0.90 工作距离：2.2 mm （干式） |
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目镜筒 |
30˚倾斜,瞳距调节范围53~75mm. |
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调焦机构 |
粗微动同轴调焦,带锁紧和限位装置,微动格值:2μm. |
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转换器 |
五孔(内向式滚珠内定位) |
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载物台 |
双层机械移动式载物台, 外形尺寸:210mmX140mm,移动范围:63mmX50mm |
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落射照明系统 |
6V30W卤素灯，亮度可调 |
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配置黄、蓝、绿滤色片与磨砂玻璃片 |
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内置视场光栏、孔径光栏、滤色片转换装置、推拉式检偏器与起偏器 |
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透射照明系统 |
阿贝聚光镜NA.1.25可上下升降 |
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集光镜中内置视场光栏 |
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配置蓝滤色片与磨砂玻璃片 |
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6V30W卤素灯、亮度可调 |
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防霉 |
防霉系统 |
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系统组成 |
电脑型(WMZ-9190C) 1.硅片检测显微镜 2.适配镜 3.摄像器(CCD) 4.计算机（选购） |
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数码型(WMZ-9190D) 1、硅片检测显微镜 2、适配镜 3、数码相机（选购） |
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可选配件 |
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目镜 |
分划目镜10X（Φ22mm） |
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物镜 |
明场物镜 20X、50X、80X |
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CCD接头 |
0.5X、1X、0.5X带分划尺 |
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摄像仪 |
USB输出：130/300/500/1000万像素 |
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数码相机接头 |
CANON(EF) NIKON(F) |
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分析软件 |
二维图像测量分析软件 |
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