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仪器特点

四轴CNC控制，自动寻边、自动测量、自动对焦

采用移动桥式精密花岗岩架构，满足高精度，高稳定性

高精度0.5um分辨率进口开放光栅系统

全闭环伺服运动控制系统，速度快、精度高

摇杆/鼠标操作，可单独或协同控制

表面光源为程控5环8区LED冷光源，平行轮廓光源，亮度均连续可调

根据客户工件的具体情况，提供不同的照明组合

可聚焦测高，可加装接触式测头和激光测头模组

可以按照客户需求提供定制化设计