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扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope)的优点有哪些?

什么是扫描电子显微镜?

    扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope)是应用电子束在样品表面扫描激发二次电子成像的电子显微镜。主要用于研究样品表面的形貌与成分。

扫描电子显微镜有哪些优点?

    1、电子束对样品的损伤与污染程度较小;

    2、在观察形貌的同时,还可利用从样品发出的其他信号作微区成分分析;

    3、样品制备过程简单,不用切成薄片;

    4、能够直接观察样品表面的结构,样品的尺寸可大至120MM×80MM×50MM;

    5、样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转,因此,可以从各种角度对样品进行观察;

    6、景深大,图象富有立体感。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍,比透射电镜大几十倍;

    7、图象的放大范围广,分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍,它基本上包括了从放大镜、光学显微镜直到透射电镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间,可达3NM。

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