8寸晶圆显微镜检测系统的前世今生

8寸晶圆显微镜检测系统是一款新型机械手，由北京自动化技术研究院主持研究，历时六个月，在研发过程中，做了很多改进，像机械设计、软件设计、电路设计和气路设计的流程和操作步骤，该项系统全部由自动化技术研究院自主研安，具有非常高的排它性，在新型系统的软件部分，实现了模块化和标准化的应用，这样方便了工作人员进行调试和维修，以设备断电为例，调试人员所花时间比以前大大缩短，并且在新的软件版本中，还对人机界面做了改善，提升了用户体验，使得操作者可以在友好的界面中易于操作，同时还在电子电路设计方面控制了电机和传感器反馈给板卡的信号，大大提升了操作的安全性。